千級潔凈車間裝修的應(yīng)用較為廣泛，在醫(yī)院手術(shù)室、機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計中潔常有使用。千級潔凈車間指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個以內(nèi)，同時為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染，在室內(nèi)壓差上也有所要求，通常要求內(nèi)部壓力（靜壓）＞外部壓力（靜壓）；潔凈度要求高的空間壓力＞潔凈度要求低的空間壓力；潔凈車間門的朝向應(yīng)開向潔凈度級別高的房間。

  隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求，工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是5G熱潮襲來、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。

  更多的千級潔凈車間裝修設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)和一般做法詳見下文

一、千級潔凈車間裝修潔凈車間裝修設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)

潔凈車間等級標(biāo)準(zhǔn)

潔凈車間需要將一定范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將無塵室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，通常根據(jù)實驗室空氣中的顆粒數(shù)量，對潔凈車間進(jìn)行分類。潔凈車間的分類根據(jù)國家不同有不同的等級規(guī)定，目前世界各國雖有自訂規(guī)格，但普遍還是采用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。其中需要注意的，A、B、C、D級別的劃分是參照ISO標(biāo)準(zhǔn)（歐盟采納的方式），其本身包含了靜態(tài)要求和動態(tài)要求。舊版GMP采納的是美國的潔凈間劃分方式，舊版的潔凈間劃分僅有靜態(tài)的概念，不要求動態(tài)。在美國的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209（A至D）中，在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù)，并且該計數(shù)用于對潔凈車間進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)的最新209E版本也接受該度量標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E在國內(nèi)使用。較新的標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)組織的TC 209。

這兩個標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)實驗室空氣中的顆粒數(shù)量對潔凈車間進(jìn)行了分類。潔凈車間分類標(biāo)準(zhǔn)FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計數(shù)測量和計算，以對潔凈車間或潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分類。

1. 千級潔凈車間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中裝配式更為普遍，主要包括由初級、中級、高級空氣過濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。

2. 千級潔凈車間的室內(nèi)空氣參數(shù)設(shè)置要求：

① 溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。

② 新風(fēng)量：非單向流潔凈車間總送風(fēng)量的10-30％；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。

③ 送風(fēng)量：要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。

　二、超凈無塵車間裝修要求

　　1. 車間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。

　　2. 車間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場地的占地面積，該彩鋼板在安裝時需要進(jìn)行接地處理，以到達(dá)排放靜電的功能。

　　3. 車間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無塵車間內(nèi)須對上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。

　　三、超凈無塵潔凈車間的空調(diào)設(shè)計方案

　　1. 超凈無塵潔凈車間凈化原理

　　在解決了普通裝修易產(chǎn)塵的問題后，超凈室重要的空間凈化措施為潔凈空調(diào)系統(tǒng)，凈化空調(diào)機(jī)組通過風(fēng)機(jī)將室內(nèi)及室外的部分新風(fēng)先進(jìn)行初效過濾后，再進(jìn)行中效過濾，這兩級過濾在組合式凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)完成，然后用高靜壓風(fēng)機(jī)泵入管道，管道末端連接與室內(nèi)相同的特殊送風(fēng)箱，該送風(fēng)箱內(nèi)設(shè)置高效率過濾板，通過高效過濾器后的空氣進(jìn)入房間，通過潔凈車間空調(diào)系統(tǒng)工程師規(guī)劃的流動路線，帶走房間內(nèi)的微小塵埃，根據(jù)不同級別的凈化等級需要，上述過程需重復(fù)不同的次數(shù)，這個問題在下一節(jié)將給出具體參數(shù)。

　　2. 超凈無塵潔凈車間循環(huán)參數(shù)

　?、?無塵車間按級別闡述房間換氣次數(shù)：十萬級潔凈車間換氣次數(shù)每小時不能小于15次；萬級無塵車間換氣次數(shù)每小時不能小于20次；千級無塵室換氣次數(shù)每小時不能小于50次；百級超凈室和十級超凈棚不以換氣次數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)，以全天花送風(fēng)的方式送風(fēng)，全地面回風(fēng)的方式回風(fēng)，即增大送風(fēng)和回風(fēng)口所占面積的比例，計算凈化組合式空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是以送風(fēng)速度控制在0.3-0.5m/s來進(jìn)行反向推算。

　　② 超凈無塵潔凈車間的溫度和濕度控制范圍：冬季＞攝氏16度，夏季＜攝氏26度，波動范圍為±攝氏2度；濕度在45-65%之間，具體以生存的產(chǎn)品特點來確定，正常波動范圍在±5%，濕度同時在不同的數(shù)量值時對室內(nèi)的靜電也有特殊的效果，所以潔凈車間內(nèi)的濕度要綜合考慮；

　?、?噪音控制：超凈無塵潔凈車間內(nèi)的噪音以工作人員的舒適度為主要依據(jù)，國家噪音標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定工作環(huán)境內(nèi)的噪音應(yīng)控制在≤65dB。

　　④ 新風(fēng)：為了室內(nèi)控制人員的舒適度問題，按照暖通通風(fēng)標(biāo)準(zhǔn)潔凈車間內(nèi)要適當(dāng)補(bǔ)充新風(fēng)，新風(fēng)量按照人員數(shù)量計算，按50m3/h計算。

　　四、光學(xué)超凈間設(shè)計關(guān)于空調(diào)材料的潔凈要求

　　1. 空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)管道采用鍍鋅鋼板制作，考慮到風(fēng)壓較大，建議采用中壓法蘭式風(fēng)管，外部采用橡塑作為保溫材料，橡塑需為阻燃性，以保證消防防火安全。

　　2. 高效送風(fēng)口可采用冷軋板制作，目前市面上有不銹鋼材質(zhì)高效送風(fēng)口，但根據(jù)永科的施工經(jīng)驗，不銹鋼高效送風(fēng)口強(qiáng)度較差，在高風(fēng)壓的狀態(tài)下容易變形。而且不銹鋼高效送風(fēng)口的誕生主要是用于食品企業(yè)SC生產(chǎn)潔凈車間，此類車間對細(xì)菌數(shù)量有嚴(yán)格要求，但凈化級別較低，僅為10級凈化，送風(fēng)量要求比較小，風(fēng)壓也較小，這與光學(xué)微電子超凈無塵車間的需求不一樣，所以不建議超凈無塵潔凈車間的空調(diào)系統(tǒng)使用。

　　3. 回風(fēng)口須采用可開可調(diào)式風(fēng)口，不應(yīng)該采用固定百葉回風(fēng)口，超凈無塵潔凈車間內(nèi)須在回風(fēng)口安裝中效過濾器，同時在潔凈車間的日常使用維護(hù)中，也需要定期清洗，可開式風(fēng)口便于更換中效過濾器和衛(wèi)生清理；可調(diào)式風(fēng)口的作用主要是為了調(diào)節(jié)超凈無塵區(qū)域與普通潔凈區(qū)域的氣流組織，通過調(diào)節(jié)回風(fēng)口上的百葉，可達(dá)到調(diào)節(jié)室內(nèi)外壓差的作用。

五、千級潔凈車間裝修的一般做法

關(guān)于千級潔凈車間裝修的一般做法，三仁將以電路板千級潔凈車間的三種設(shè)計方案來比較分析。此處案例為蘇州一個美資柔性電路板EPC總承包項目中的一個典型工藝房間，溫濕度要求在（21±2）℃，濕度控制在（55±10）%。

1. 方案一：AHU（空調(diào)機(jī)組）+HEPA（高效送風(fēng)口）

2. 方案二：MAU（新風(fēng)機(jī)組）+RAU（循環(huán)機(jī)組）+HEPA（高效送風(fēng)口）

3. 方案三：AHU（空調(diào)機(jī)組）+FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）

對比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價差異不大，但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過一次高效過濾，在運行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場上，千級潔凈車間隨著FFU價格的降低，越來越受到設(shè)計師和建設(shè)方的喜愛。