半導體芯片實驗室重點研究低維半導體結(jié)構(gòu)材料(量子阱、量子線和量子點材料)、寬禁帶半導體材料、半導體光伏材料、特種薄膜材料等特殊條件下制備材料的生長工藝、結(jié)構(gòu)性能和光、電、磁、熱學等性質(zhì)?！“雽w芯片檢測技術正朝著多樣化發(fā)展，目前最常用的檢測器是熒光和電化學檢測器。隨著固態(tài)電子器件的發(fā)展，芯片實驗室是指將新型半導體材料直接與TFT電路或者CMOS電路集成，制備出成像、探測等多功能的芯片。下面磊建凈化來談談半導體芯片實驗室建設最新規(guī)劃方案和設計半導體檢測實驗室需要注意的問題。

　　一、半導體芯片實驗室建設最新規(guī)劃方案

　　半導體芯片實驗室由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

　　1、室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應大于65dB(A)

　　2、垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

　　4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的值：

　　5、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

　　7、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量。

　　二、設計半導體檢測實驗室需要注意的問題

　　隨著化合物半導體市場的擴大，對特殊氣體的需求不斷增加，外延生長需要大量超純源和工藝氣體。半導體工藝中使用的特殊氣體，由于種類繁多，質(zhì)量要求嚴格，對生產(chǎn)、充裝、運輸、儲存都有技術和安全要求，需要多方面的積累。

　　半導體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業(yè)特種氣體應用分類，主要包括：

　　1、硅族氣體：含硅基的硅烷類，如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等。

　　2、摻雜氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。

　　3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如氯氣、三氟化氮、溴化氫、四氟化碳、六氟乙烷等。

　　4、反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

　　5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢、三甲基鎵等。

　　(一)、半導體檢測實驗室工作流程設計

　　實驗室工作流程優(yōu)化與實驗室整體與局部的布局相關，同時與實驗室的硬件與軟件條件也有著密切聯(lián)系。除了布局的優(yōu)化和儀器設備的擺放位置的設計外，可以采用一些先進的實驗室管理軟件，協(xié)助實驗室工作人員優(yōu)化實驗過程，從而達到提高工作效率，減少實驗過程中人為因素對實驗結(jié)果的影響。

　　另外，完善的實驗室管理制度，也是影響實驗室工作流程的重要因素。

　　(二)、半導體檢測實驗室空調(diào)系統(tǒng)設計

　　通用實驗室的夏季空氣調(diào)節(jié)室內(nèi)計算參數(shù)為：溫度26～28℃，相對濕度小于65%。專用實驗室的空氣調(diào)節(jié)室內(nèi)計算參數(shù)應按工藝要求確定?？照{(diào)系統(tǒng)的主要作用是控制實驗室的溫濕度。空調(diào)系統(tǒng)與實驗室通風系統(tǒng)配合，才能真正有效地保證實驗室的溫濕度和房間壓力的有效控制。總之，實驗室對空調(diào)系統(tǒng)的要求，有別于普通辦公室或公共區(qū)域的空調(diào)系統(tǒng)，有其特殊性

  　(三)、半導體檢測實驗室配電系統(tǒng)設計

　　實驗室的配電系統(tǒng)是根據(jù)實驗儀器和設備的具體要求，經(jīng)過專業(yè)的設計人員綜合多方面因素設計完成的，與普通建筑有很大區(qū)別。因為，實驗室儀器設備對電路的要求比較復雜，并不是通常人們所認為的那樣，只要滿足Z大電壓和Z大功率的要求就可以了。事實上有很多儀器設備對電路都有特殊的要求。

　　我們在工程建設的過程中發(fā)現(xiàn)，大部分用戶在實驗室設計建設初期，都沒有充分考慮到實驗室用電的特殊要求，甚至有的用戶和設計單位認為實驗室的用電量與一般的辦公室類似。這樣給后期實驗室的運行帶來了很大的麻煩。

　　對配電系統(tǒng)的設計，不但要考慮現(xiàn)有的儀器設備情況，同時也要考慮實驗室?guī)啄甑陌l(fā)展規(guī)劃。充分考慮配電系統(tǒng)的預留問題及日后的電路維護等問題。