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芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間及無塵車間等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)_磊建凈化

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時(shí)間:2023-03-03

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  由于電子、芯片產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。芯片的生產(chǎn)環(huán)境及設(shè)備的要求是極高的,那芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間呢?及無塵車間等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)有哪些呢?


芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間及無塵車間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)_磊建凈化


  一、芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間


  芯片生產(chǎn)無塵車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。因此芯片制造業(yè)工廠需要萬級(jí)及以上的無塵車間活無塵室。


  芯片制造業(yè)萬級(jí)無塵車間的潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈環(huán)境的溫濕度】,這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。另外該類潔凈室對(duì)靜電要求嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間及無塵車間等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)_磊建凈化


  1、萬級(jí)芯片無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次;100≥500次;

  2、壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

  3、平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;

  4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;

  5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

  6、噪聲:≤65dB(A);

  7、照度:300LX;

  8、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%。


  芯片萬級(jí)無塵車間凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),伴有回流或渦流,不同等級(jí)的凈化車間,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。


  電子芯片無塵車間潔凈有著嚴(yán)格的潔凈度要求,可想而知,其設(shè)計(jì)施工也是相當(dāng)復(fù)雜的。此外,潔凈度越高,建造費(fèi)用也越高。例如100級(jí)單向流潔凈室,僅室內(nèi)裝修與空調(diào)潔凈系統(tǒng)的建造費(fèi)用就要萬元或以上一平方。再加上消防、三廢、供配電和自控系統(tǒng),建造費(fèi)用就要更高了。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間_磊建凈化


  二、無塵車間等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)


  不同潔凈度級(jí)別的無塵車間各適用哪些行業(yè)

  無塵車間根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素的不同,可以分為若干等級(jí)。下面按照無塵車間不同的潔凈度級(jí)別整理出其所對(duì)應(yīng)的適用行業(yè)類別,希望能夠給您帶來幫助。


  100級(jí):很多人認(rèn)為,這一級(jí)無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。


  1000級(jí):這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。


  10000級(jí):萬級(jí)無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級(jí)無塵車間在醫(yī)藥工業(yè)中也很常用。


  100000級(jí):十萬級(jí)無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵車間。


芯片制造業(yè)工廠需要幾級(jí)無塵車間及無塵車間等級(jí)劃分_磊建凈化