半導(dǎo)體潔凈車間建設(shè)百級潔凈室安裝FFU施工工藝設(shè)計(jì)要求及流程

　　百級潔凈室的空氣潔凈度為100個顆粒/立方英尺，也就是空氣中直徑大于0.5微米的顆粒數(shù)不超過100個。百級潔凈是通常用于半導(dǎo)體醫(yī)療、制藥、食品加工等領(lǐng)域的潔凈車間，要求空氣中的微粒含量也比較低，以保證半導(dǎo)體等產(chǎn)品質(zhì)量。下面淺談一下半導(dǎo)體潔凈車間建設(shè)百級潔凈室安裝FFU施工工藝設(shè)計(jì)要求及流程。

　　半導(dǎo)體潔凈車間潔凈室房間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)一般由金屬墻板制成，一般建成后，布局不能隨意改變，但由于工藝的不斷更新，原有的潔凈車間潔凈度布局無法滿足新工藝的需要，導(dǎo)致潔凈室潔凈車間因產(chǎn)品更換需要頻繁更換，浪費(fèi)了大量的財(cái)力物力。

　　半導(dǎo)體潔凈車間潔凈室施工可通過增加或減少FFU凈化單元的數(shù)量，可以局部調(diào)整房間的清潔布局，以滿足過程的變化，F(xiàn)FU凈化單元有自己的動力，風(fēng)口和燈具可以節(jié)省大量的投資，這對于通常集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能的。

　　一、半導(dǎo)體潔凈車間百級潔凈室采用FFU風(fēng)機(jī)過濾單元設(shè)計(jì)方案。

　　半導(dǎo)體潔凈車間百級區(qū)天花板上覆蓋著FFU風(fēng)機(jī)凈化單元。清潔空氣從百級區(qū)側(cè)墻下部的高架地板或進(jìn)入垂直風(fēng)管，通過垂直風(fēng)管進(jìn)入靜壓箱，通過ffu風(fēng)機(jī)凈化單元進(jìn)入室內(nèi)，達(dá)到循環(huán)效果。

　　半導(dǎo)體潔凈車間百級區(qū)上部ffu風(fēng)機(jī)凈化單元垂直送風(fēng)，百級區(qū)ffu風(fēng)機(jī)凈化單元與吊架之間的泄漏對百級區(qū)潔凈度影響較小。

　　ffu風(fēng)機(jī)凈化單元重量輕，采用罩入式安裝方式，使安裝，更換，維修更加方便。

　　縮短施工工期，ffu風(fēng)機(jī)過濾單元系統(tǒng)節(jié)能顯著，解決了空調(diào)機(jī)房巨大，空調(diào)機(jī)組運(yùn)行成本增加的缺點(diǎn)，ffu獨(dú)立的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可以隨時調(diào)整，彌補(bǔ)潔凈室機(jī)動性不足，解決了生產(chǎn)過程不適合調(diào)整的缺點(diǎn)。

　　半導(dǎo)體潔凈車間潔凈室ffu循環(huán)系統(tǒng)的使用不僅節(jié)省了運(yùn)行空間，清潔安全性高，運(yùn)行成本低，操作靈活性高，系統(tǒng)可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時升級調(diào)整，可以很好地滿足半導(dǎo)體潔凈車間潔凈室的需求，因此，在半導(dǎo)體等制造業(yè)中使用ffu循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的清潔設(shè)計(jì)方案。

　　二、半導(dǎo)體潔凈車間百級潔凈室FFU過濾器安裝流程

　　1、從運(yùn)輸包裝箱中小心地取出高效過濾器，查看在運(yùn)輸過程中是否有任何部件損壞。取下塑料包裝袋，將FFU和高效過濾器放置在清潔的房間內(nèi)。

　　2、把FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上。至少2人在待安裝FFU的吊頂天花上準(zhǔn)備，人運(yùn)送FFU箱體至安裝位置龍骨下，由另外在梯子上的2人托起箱體，箱體與天花呈45度，穿過天花。吊頂天花上的2人應(yīng)手握FFU把手，接過FFU箱體平放于旁邊的吊頂天花上等候蓋上過濾器。

　　3、梯子上2人接過搬運(yùn)人員遞過來的高效過濾器，雙手握住高效過濾器邊框，與天花呈45度，穿過天花，過程輕拿輕放，禁止觸碰過濾器表面。吊頂天花2人接過高效過濾器，對齊龍骨四邊平行放下，注意過濾器風(fēng)向，出風(fēng)面應(yīng)朝下。

　　4、把FFU箱體對齊過濾器四周放下，過程輕拿輕放，注意不能讓箱體邊緣觸碰過濾器，根據(jù)廠家提供電路圖和買方的電氣規(guī)章，使用電纜將風(fēng)機(jī)單元連接到適當(dāng)電壓的電源上。

來源：百級潔凈室FFU施工工藝、要求及流程